Von der Klein- zur Großserie: Glassubstrate für Halbleiter
Die Halbleiterindustrie verlagert sich von organischen und Siliziumsubstraten hin zu Glas. Dazu werden beim Advanced...
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EUV-Quelle im Labormaßstab
Experimente mit laserähnlichem EUV-Licht können meist nur an teuren Großforschungsanlagen betrieben werden. Der Jenaer Forscher...
