21 Jan. UV-F-Theta-Objektiv für die Elektronikfertigung
Excelitas Technologies präsentiert ein neues F-Theta-Objektiv mit reduziertem Ausgasverhalten. Das Quarzglasobjektiv aus der Reihe Linos UV F-Theta-Ronar eignet sich nach Angaben des Herstellers besonders für die Halbleiterfertigung sowie generell für die UV-Laserbearbeitung mit hohen Leistungen und kurzen Pulsen. Es ist mit einer High-End-Breitbandbeschichtung versehen und für den Wellenlängenbereich von 340 nm bis 360 nm optimiert. Die hochwertige optische Konstruktion minimiert laut Excelitas Rückreflexionen und bietet uniforme Spotgrößen über das gesamte Scanfeld. Bei einer Laseraustrittsöffnung von 15 mm beträgt die minimale Spotgröße 11 µm. Das F-Theta-Objektiv ist für eine Brennweite von 252 mm ausgelegt. Zudem soll es sich mit dem ausgasarmen UV-Strahlaufweiter von Excelitas kombinieren lassen. Auch die Materialien für Gehäuse und Staubschutzkappe sind dem Hersteller zufolge nach ihren geringen Ausgasungseigenschaften ausgewählt. Das F-Theta-Objektiv lässt sich über sein M85x1-Standardgewinde in industrielle Laserapplikationen integrieren. Zielanwendungen sind unter anderem Wafer-Verarbeitung, Display-Fertigung und Solarzellenproduktion.
Excelitas Technologies präsentiert das neue Objektiv auf der SPIE Photonics West 2025
Stand 641
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Quelle und Bild: www.excelitas.com
