26 Sep Ultrakompakter DUV-Polarisationsfilter
Für die DUV-Lithografie hat Steinmeyer Mechatronik eine ultrakompakte, hochpräzise Positionierlösung zur Wafer-Belichtung in trockener, sauerstofffreier Stickstoff-Atmosphäre entwickelt. Die Baugruppe mit DUV-Polarisationsfilter ist als optionales Add-on zur Integration in eine bestehende Maschine konzipiert. Der DUV-Polarisationsfilter ist mit Abmessungen von ca. 120 x 180 x 31 mm3 laut Hersteller extrem kompakt gebaut. Auf einer Höhe von 15 mm sind drei flächige Filter untergebracht, die im Strahlengang der optischen Anlage verschoben werden und unabhängig voneinander positionierfähig sind. Aus der Relativlage der drei Filter untereinander ergibt sich die gewünschte Filtereigenschaft. Der Antrieb erfolgt mittels Gleitgewindetrieb mit einem Hub von 75 mm und elektronisch kommutierter DC-Motoren. Dabei verfügt jeder Filter über einen eigenen Antriebsstrang, der zum Schutz vor der DUV-Strahlung mit einem Stahlblech abgedeckt ist. Das System ist trockenlaufend und erreicht den Angaben zufolge Genauigkeiten bis zu 1,5 µm. Ein wartungsfreier und flexibler 24/7-Betrieb soll über viele tausend Stell-Zyklen, verteilt über 10 Jahre, möglich sein.
Partikelarm laufender Gleitgewindetrieb
Der Miniatur-Gleitgewindetrieb ist das Kernstück der Baugruppe. Er wurde nach Angaben von Steinmeyer am Standort Suhl speziell für Anwendungen in der DUV-Lithografie entwickelt und gehört mit einem Spindeldurchmesser von 3 mm und einer Spindellänge von 112 mm zu den kleinsten am Markt in dieser Präzision. Die Mutter besteht aus dem Hochleistungskunststoff PEEK und die Spindel aus nicht-rostendem Edelstahl, wodurch unter extremen Umgebungsbedingungen in der DUV-Lithographie eine optimale Gleitfähigkeit, Wärmeabfuhr und mechanische Stabilität erreicht wird.
Produkte für die Halbleiterindustrie
Steinmeyer verfügt nach eigenen Angaben über spezielles Know-how in der Tribologie und Schmierung in trockenen, sauerstofffreien Atmosphären wie Vakuum und Reinstickstoff. Alle Fertigungsteile werden vakuumgerecht konstruiert und nach der Fertigung gesondert gereinigt. Die Montage erfolgt in einem zertifizierten Reinraum der ISO Klasse 6. Eine reinraumgerechte Verpackung mit Stickstoff-Inertgas-Füllung schützt das fertige Produkt beim Transport.
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Quelle und Bild: www.steinmeyer-mechatronik.de
