17 Mai Positioniersystem für Optiken
Mit dem Positioniersystem 5DOF Miniatur-XYZ-Phi-Delta bietet Steinmeyer Mechatronik eine Lösung für hochpräzise Ausrichtprozesse. Das System besteht aus dem Tripod MP200-3 und dem XY-Kreuztisch KDT235 – beide mit Durchlichtöffnung – und vereint damit die Vorteile parallelkinematischer und gestapelter Systeme in einem Produkt. Das Positioniersystem ist 235 mm lang, 235 mm breit sowie 170 mm hoch. Der Verfahrweg in XY-Richtung beträgt 100 mm, der Hub 4 mm und die Kippungen in Phi und Delta 4°. Die Wiederholgenauigkeit ist nach Angaben des Herstellers absolut gleichbleibenden über alle Freiheitsgrade.
Der für die XY-Bewegung auf dem der Tripod aufgesetzte Scantisch verfügt über hochpräzise Kugelgewindespindeln und einer justierbaren Orthogonalität. Die Präzisions-Kugelgewindetriebe von August Steinmeyer sind mit einer Zylinder-Einzelmutter mit 4-Punkt-Kontakt und Einzelgangumlenkung ausgestattet. Die spielfrei vorgespannten Gewindetriebe sollen einen idealen Gleichlauf in der Anwendung und kleinste Stellinkremente ermöglichen.
Die drei vertikal wirkenden Präzisionsachsen des Tripods sind mittels Festkörpergelenken mit der beweglichen Lastplatte verbunden. Somit lässt sich die Lastplatte in zwei Achsen kippen und auch in der Höhe verstellen. Ein gehärteter und geschliffener Gleitgewindetrieb von Feinmess Suhl mit einem Spindeldurchmesser von 5 mm und einer Gewindesteigung von 0,5 mm ermöglicht feinste Zustellbewegungen. Die Gleitgewindetriebe laufen auch im Vakuum und Reinraum mit Sonderschmierung über eine lange Zeit störungsfrei.
Eine Vielzahl an Optionen soll maximale Individualität ermöglichen. Als Zusatzausstattung stehen unter anderem Drehtische, Probenhalter, Motion Controller, Umhausungen sowie unterschiedliche Sicherheitskonzepte und -technik (Not-Aus, Türschalter, Lichtgitter, Laserscanner, STO, SLS) zur Verfügung. Auch Varianten für Reinraum, UV, DUV, nicht reflektierende Oberflächen, magnetische Umgebungen sowie Vakuum sind laut Hersteller realisierbar.
Das Positioniersystem ist beispielsweise in der Halbleiterindustrie vielfältig einsetzbar und eignet sich auch für nicht rotationssymmetrische Teile. Von Vorteil sind außerdem die virtuellen Drehpunkte, die an einer beliebigen Stelle in die Werkstückoberfläche gesetzt werden können. Damit lässt sich der Drehpunkt in die optische Funktionsfläche legen und das Inspektionsobjekt aus verschiedenen Winkeln betrachten.
Anwendungen liegen außerdem in der optischen und aktiven Ausrichtung, in der hochauflösenden Mikroskopie, dem 3-D-Imaging, Interferometrie, in Autofokus-Systemen oder bei Halbleitertests.
Weitere Informationen vom Hersteller
Quelle und Bild: www.steinmeyer-mechatronik.de
