Technologieforum

Weißlichtlaser am Fraunhofer AZOM

Leistungsstarker Weißlichtlaser für Prüfaufgaben

Ein neuer Weißlichtlaser soll die Qualitätskontrolle in der Halbleiterindustrie beschleunigen und in der Mikrobiologie für eine engmaschigere Kontrolle von Toxizitätstests sorgen. Gerade in kostenintensiven Herstellungsprozessen der Halbleiterindustrie, wie etwa der Chipfertigung, ließen sich somit deutliche Einsparpotenziale erzielen. Durch die Intensität der Lichtquelle können beispielsweise das Oberflächenprofil, tieferliegende Strukturen und sogar die Rückseite von Mikrochips in einem Vorgang charakterisiert werden. Der am Fraunhofer-Anwendungszentrum für Optische Messtechnik und Oberflächentechnologien (AZOM) entwickelte Weißlichtlaser ermöglicht Intensitäten auf der Probenoberfläche, die konventionelle Weißlichtquellen nicht erzielen können.

Auch die Mikrobiologie könnte von der entstandenen Lichtquelle profitieren, etwa bei der Untersuchung von Zellkulturen. Dabei wird der Weißlichtlaser, auch Superkontinuumsquelle genannt, für einen kurzen Moment auf die Zelle fokussiert. Die Intensität dieser Lichtquelle ermöglich es, kleinste Zellstrukturen dazustellen, ohne sie zu zerstören. Mit diesem Messverfahren können Zellen in Echtzeit überwacht und damit die Früherkennung von Zellveränderungen sowie Zellschäden erkannt werden. Wo Zellen bislang nur zu festen Zeiten gezählt werden konnten, soll die neue Lösung deren Zustände nichtinvasiv erfassen oder gar beeinflussen. Gerade in Bioreaktoren oder bei Toxizitätstests von Medikamenten wird so eine engmaschige Wirkungskontrolle möglich.

In den nächsten Schritten sollen die Ergebnisse aus dem Labor für die Einbindung in industrielle Prozesse näher untersucht und weiterentwickelt werden. Das Fraunhofer Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS betreibt in Kooperation mit der Westsächsischen Hochschule Zwickau (WHZ) das Fraunhofer AZOM. Dort erforschen und entwickeln Forschende die neuesten Ansätze der optischen Messtechnik, Bildverarbeitung, Prozesskontrolle und Oberflächencharakterisierung. Ziel ist es, die Forschungsergebnisse schnell und direkt in applikationsspezifische Lösungen für industrielle Prozesse zu transferieren. Das Fraunhofer AZOM bildet eine Schnittstelle zwischen angewandter Wissenschaft und Industrie in den Feldern Medizintechnik, Kraftfahrzeugtechnik, dem Maschinenbau und der Halbleitertechnologie.

Quelle und Bild: www.iws.fraunhofer.de

Anwendungszentrum: Fraunhofer AZOM

Kooperationspartner: www.fh-zwickau.de



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