Polarisationskameras von SVS-Vistek, wie die GigE- Vision- Modelle Exo264ZGE und Exo250ZGE oder die USB3- Kameras Exo264ZU3, Exo250ZU3 und Exo253ZU3 bilden die Grundlage der Ellipso- metriesysteme der TU Wien 09 Schichten bestimmen. Um den Polarisati- onszustand vollständig zu erfassen, grei- fen die Forscher in die optische Trickkiste: Da die Umlaufrichtung der gemessenen Polarisationsellipse bei diesem Verfahren zunächst nicht feststellbar ist, nutzen sie eine zusätzliche Viertelwellenplatte, um die Intensitäten der 45°- und 135°-Li- near- und Links/rechts-Zirkularpolarisie- rung zu messen. „Aus diesen Intensitäten werden das 45°-Verhältnis R45 und das Zirkularverhältnis Rz gebildet“, erklärt Bammer. Diese beiden Kennzahlen beziehungs- weise die daraus direkt zu berechnenden klassischen Ellipsometriewinkel ψ und Δ sind sensitiv gegenüber der Dicke und op- tischen Konstante der Beschichtung. Das Verfahren ermöglicht somit eine zerstö- rungsfreie, bildbasierte Analyse im Sub- mikrometerbereich. Bammer: „Unser Ziel besteht darin, dieses im Labor funktio- nierende Verfahren so leistungsfähig und sicher zu machen, dass es auch in Inline- Anwendungen in der Industrie zum Ein- satz kommen kann.“ Industrielle Einsatzfelder und ihre Anforderungen Der Bedarf für solche Inline-Ellipsome- triesysteme ist vorhanden und wächst, sagt Bammer: In der Elektronikfer- tigung etwa ist es erforderlich, die Qualität dünner Schichten aus Halb- leitern, Metallen, Polymeren oder Dielektrika möglichst exakt zu ermit- teln, Dies gilt auch für die Herstellung von OLED-Displays, Brennstoffzellen- membranen, Batterieelektroden, Pho- tovoltaikkomponenten sowie in der Pharma-, Lebensmittel- und Getränke- industrie. „Durch ellipsometrische Messungen“, so Bammer, „kann dort beispielsweise sichergestellt werden, dass die Dicke der Innenbeschichtung in Kunststoff- und Glasbehältern alle Anforderungen erfüllt, um die ent- haltenen Produkte zu schützen und gleichzeitig zu garantieren, dass diese nicht ausdiffundieren.“ Wie genau solche Schichtdicken gemessen und beurteilt werden müs- sen, hängt von der Anwendung ab. Bei Barriereschichten in Flaschen und auf Folien, bei Gleitschichten in phar- mazeutischen Gebinden oder bei Pri- mern auf Blechen, die in Form von Haftschichten oder als Vorbehand- lung für eine bessere Anhaftung von Lacken genutzt werden, kann nach Bammers Worten eine Genau- igkeit von rund 10% der Schichtdi- > > > SVS-Vistek, Hersteller von Industrie- kameras, verfügt über mehr als 35 Jahre an Erfahrung in der industriellen Bildverarbeitung. Das Unternehmen entwickelt und produziert eigenen Angaben zufolge Standardkame- ras sowie Kameras mit höchsten Auflösungen und Geschwindigkeiten, überdurchschnittlicher Bildqualität und allen relevanten Schnittstellen. Außerdem unterstützt SVS-Vistek seine Kunden mit Komponenten wie Objektiven, Beleuchtungen, Filtern, Framegrabbern und Kabeln. Die Forschungsgruppe Prozess- technik am Institut für Fertigungs- technik und Photonische Technologien der TU Wien arbeitet mit Partnern aus Industrie und Wissenschaft an verschiedenen Aufgabenstellungen der Makro-, Mikro- und Nanobear- beitung sowie an messtechnischen Fragestellungen. Diese untersucht sie mit Laser- und Lichtquellen, die Strahlung von UV bis FIR emittieren. Die Aktivitäten der Gruppe reichen von den wissenschaftlichen Grundlagen bis zur angewandten Forschung.