10 Sep. FIB-SEM zeigt Materialabtrag in Echtzeit
Das Crossbeam 750 von Zeiss ist ein FIB-SEM für die Probenpräparation. Das System ermöglicht eine hochauflösende Live-REM-Bildgebung während des Materialabtrags mit dem fokussierten Ionenstrahl (Focused Ion Beam, FIB). Anwender können dadurch den Abtrag beobachten und einzelne Bearbeitungsschritte anpassen, ohne den FIB-Prozess für die Bildgebung zu unterbrechen.
Dafür kombiniert das Crossbeam 750 die neue Gemini-4-Elektronenoptik mit der Funktion HDR Mill + SEM. Nach Angaben von Zeiss liefert das System damit sowohl beim Materialabtrag mit hohen FIB-Strömen als auch beim Feinpolieren bei einer Auftreffenergie von 0,5 kV eine hochauflösende REM-Ansicht. Bei Halbleiteranwendungen lässt sich der Ausdünnungs- und Polierprozess während der Bearbeitung kontrollieren und anpassen.
Für die 3-D-Tomografie in den Material- und Biowissenschaften verfügt das Crossbeam 750 zudem über ein großes Sichtfeld mit geringer Verzeichnung. Zusammen mit der Bildgebung bei niedrigen Beschleunigungsspannungen soll dies das Signal-Rausch-Verhältnis verbessern und die Aufnahmezeiten bei 3-D-Aufnahmen verkürzen.
Zu den Anwendungen zählen die Analyse von Halbleiterstrukturen, die Präparation von TEM-Lamellen und Proben für die Atomsondentomografie (APT), die Nanofabrikation einschließlich Elektronenstrahllithografie sowie die hochauflösende 3-D-Volumenbildgebung.
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Quelle und Bild: www.zeiss.com