Technologieforum Laser Photonik

MVTec und Zeiss arbeiten bei der neuen Softwareplattform Zeiss Blockwise für automatisierte Elektronenmikroskopie zusammen. Dabei integriert Zeiss nach Angaben der beiden Partner die Machine-Vision-Software Halcon von MVTec als zentrale Bildverarbeitungskomponente in die Plattform. Zeiss Blockwise ist eine neue Softwareumgebung für automatisierte Mess-, Analyse- und Inspektionsaufgaben in der Elektronenmikroskopie. Die Plattform soll sich insbesondere an Anwendungen in der Halbleiter- und Mikroelektronikfertigung richten, in denen große Datenmengen, reproduzierbare Abläufe und hochpräzise Analyseprozesse erforderlich sind.

Durch die Integration von Halcon kombiniert Blockwise regelbasierte Bildverarbeitungsverfahren mit Deep-Learning-Methoden innerhalb einer gemeinsamen Entwicklungsumgebung. Dadurch sollen sich unterschiedliche Inspektions- und Analyseaufgaben flexibel durchführen und an veränderte Anforderungen anpassen lassen. Ein Schwerpunkt der Plattform liegt den Partnern zufolge auf der engen Verknüpfung von Bilderfassung und Analyseworkflow. Auf Basis erfasster Mikroskopiedaten können nachgelagerte Mess- und Inspektionsschritte automatisiert definiert und ausgeführt werden. Dadurch soll sich der Automatisierungsgrad komplexer Analyseprozesse erhöhen.

Halcon umfasst nach Angaben von MVTec mehr als 2100 Operatoren für industrielle Bildverarbeitung und wird in Anwendungen der Halbleiter- und Mikroelektronikindustrie unter anderem für Inspektions-, Mess- und Klassifikationsaufgaben eingesetzt. Die Kombination aus klassischer Bildverarbeitung und KI-basierten Verfahren unterstützt dabei skalierbare und reproduzierbare Analyseprozesse.

Quelle: www.mvtec.com