20 Nov. Moderne Anlagentechnik für Mikrodisplays
Das Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS) erweitert seine Fertigungskapazitäten für hochauflösende Mikrodisplays. Eine im Rahmen des Projekts ‚EdgeVision-Mikrodisplay‘ (FKZ 03RU2U061C) entwickelte Anlagentechnik soll die Effizienz und Präzision bei der Herstellung deutlich steigern; die Inbetriebnahme ist bis Ende 2025 vorgesehen.
Das neue Equipment dient der thermischen Abscheidung komplexer organischer Schichten, Metalle und Oxide. Damit lassen sich künftig High-Resolution-OLED-Mikrodisplays ebenso fertigen wie organische Fotodioden und weitere Sensorsysteme. Laut Bernd Richter, Leiter Mikrodisplay- und Sensortechnologie am Fraunhofer IPMS, sind die Anlagen sowohl für die experimentelle Forschung als auch für den industriellen Einsatz ausgelegt – in einer einheitlichen, variabel anpassbaren Umgebung. Ziel sei es, Entwicklungsprozesse zu beschleunigen und die Qualität der Ergebnisse langfristig zu sichern.
Produktionsstabilität und Energieeinsatz optimieren
Die neue Vakuumanlage verfügt über eine Ätzkammer zur Vorbehandlung von Wafern unterschiedlicher Herkunft. Verbesserte Prozesssteuerung und mehr Durchsatz sollen die Produktionsstabilität erhöhen und den Energieeinsatz optimieren. Eine Herausforderung bestand den Institutsangaben zufolge darin, die neuen Vakuummodule mit bestehenden Anlagen zu koppeln, ohne die laufenden Prozesse zu beeinträchtigen.
Mikrodisplays gewinnen an Bedeutung: von Augmented- und Virtual-Reality-Anwendungen über medizinische Geräte bis hin zu industriellen Head-up-Displays und optischen Sensorsystemen. Die gesteigerte Fertigungsqualität ist daher sowohl für Forschung als auch für die industrielle Entwicklung relevant.
Das Fraunhofer IPMS will die erweiterte Infrastruktur nutzen, um neue Material- und Prozesskombinationen zu erproben und seinen Kunden anwendungsspezifische Lösungen aus einer Hand anzubieten – von der Konzeptphase bis zu Prototypen und Pilotserien.
Das IPMS vereint – eigenen Angaben zufolge als einziges unabhängiges Forschungszentrum – Backplane-Design in Silicon-Foundry-Prozessen und OLED-auf-Silizium-Fertigungstechnologie unter einem Dach. Die Institutsstruktur erlaubt es, vollständige Entwicklungs- und Fertigungsprozesse vom IC-Design über die Materialabscheidung bis zur Pilotproduktion intern umzusetzen. Neben OLEDs entwickeln die Wissenschaftler auch Backplanes für Mikro-LED- und LCOS-Technologien (Liquid Crystal on Silicon).
Quelle: www.ipms.fraunhofer.de
Bild: Fraunhofer IPMS, Sebastian Lassak
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