14 Feb Scanobjektiv für submikrometernahe Laserbearbeitung
Die UV-Version der Microscan-Extension von Pulsar Photonics ist ein Scanobjektiv zur Lasermikrobearbeitung, das Auflösungen nahe der Submikrometergrenze erzielt und damit Strukturgrößen im Bereich von weniger als 10 µm fertigen kann. Sie lässt sich wie ein konventionelles F-theta Objektiv an einen Galvanometerscanner montieren und macht eine UKP-Lasermaschine laut Hersteller in wenigen Minuten für hochauflösende Mikrobearbeitung bereit. Mithilfe der neu entwickelten UV-Version lassen sich Fokusdurchmesser von bis zu 1,3 µm (1/e²) auf dem Werkstück erreichen. Moderne Galvanometerscanner mit Digitalencoder ermöglichen es dem Mikrometerwerkzeug mit einer Genauigkeit von weniger als 100 nm über das Werkstück geführt zu werden. Das Einmessen der Probe sowie die Einstellung der Fokuslage erfolgen über die koaxiale Kamera des Scanobjektivs.
Mit dem Scanobjektiv sind Laserbohrungen von Ausgangsdurchmessern von weniger als 1,5 µm in dünnen Stahlfolien oder Mikrokathetern reproduzierbar möglich, so der Hersteller. Gleichzeitig können Mikromarkierungen mit hoher Informationsdichte auf ebenen Oberflächen prozesssicher und hochindividualisierbar eingebracht werden und so die Applikationsbreite von UKP-Lasern bis zur Sub-Mikrometergrenze erweitert werden.
Anwendungsbereiche liegen im Bereich Medizintechnik, Mikrofiltration sowie Elektronik, beispielsweise für reproduzierbare Mikrobohrungen, Mikromarkierungen oder Ablationen mit hoher Strukturauflösung bis in den Submikrometerbereich.
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Quelle und Bild: www.pulsar-photonics.de
