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Laser­basierte Proben­bearbeitung für Material­analyse und Qualitäts­kontrolle: Schnell und effizient

Alle, die in der Materialentwicklung oder Qualitätskontrolle arbeiten, wissen, dass die Qualität einer jeden Analyse direkt mit der Qualität der jeweiligen Probe zusammenhängt. Das gilt auch für Mikrostrukturanalysen von Werkstoffen. Insbesondere die Präzision und Reproduzierbarkeit von einzelnen Probenbearbeitungsschritten sind dabei von großer Wichtigkeit. Was viele nicht wissen: Gerade mit hochmoderner Lasertechnik lassen sich ultra-dünne Materialproben schnell und präzise für die elektronenmikroskopische Untersuchung präparieren.

Mit der microPREP™ PRO hat die 3D-Micromac ein kompaktes und leicht bedienbares System zur laserbasierten Probenbearbeitung in der Materialanalytik entwickelt. Durch den Einsatz eines Ultrakurz-Puls-Lasers können mit der microPREP™ PRO Proben effektiv sowie kostengünstig präpariert werden. Komplexe Proben und 3D-Geometrien werden so innerhalb von kurzer Zeit auspräpariert. Die Flexibilität des Laserprozesses erlaubt auch die umfassende Analyse tiefliegender Strukturen beispielsweise durch das Freilegen von Kontaktierungen oder den gezielten Abtrag bzw. das Freilegen von Leiterbahnen in Halbleiterstrukturen.

Auch größere Proben können mit Genauigkeiten im Mikrometerbereich direkt bearbeitet werden. Eine integrierte Übersichtskamera vereinfacht dabei die Navigation auf größeren Proben, während die hochauflösende Prozesskamera für eine präzise Positionierung sorgt. Durch die Verwendung eines Pikosekundenlasers wird die strukturelle Schädigung deutlich reduziert. Zudem wird eine Kontamination des zu untersuchenden Materials vermieden. Weiterer Vorteil: Mit der microPREP™ PRO können deutlich höhere Abtragsraten als bei konventionellen ionenstrahlbasierten Verfahren realisiert werden.

Zur unübertroffenen Flexibilität bei der Bearbeitung von Proben für eine Vielzahl von Analytik-Methoden trägt auch die intuitiv bedienbare microPREP™-Software bei. Mit Hilfe von bereits vorinstallierten, aber auch vom Anwender selbst erstellbaren Prozessen, sogenannten Rezepten, kann die microPREP™ PRO Proben für diverse Materialanalyse-Prozesse und mikromechanische Untersuchungen in erstaunlich kurzer Zeit vorbereiten.

Für industrielle Anwendungen im Bereich der Laser-Mikrobearbeitung bietet 3D-Micromac in enger Zusammenarbeit mit dem Kunden die Entwicklung und Optimierung von Laserprozessen und -maschinen von der ersten Idee bis zur Serienreife. Alle Phasen der Prozess- und Technologieentwicklung, von den Vorversuchen über die Machbarkeit und die Entwicklung von (Funktions-)Prototypen bis hin zur Auftragsfertigung können im 3D-Micromac Applikationslabor durchgeführt werden.

Weitere Informationen: https://microprep.pro



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